補強炭素チューブ

超高精度カーボンファイバーメトロロジーフレーム

サブミクロン安定性ソリューション座標測定機（CMMS）およびリソグラフィの段階用に設計されたピッチベースのカーボンチューブは、前例のない0。秘密は次のとおりです。

物質科学のブレークスルー

ファイバーアーキテクチャ：K13D2Uメソフェーズピッチ繊維（93％の炭化率の収量）

ハイブリッド織り：1K Plain Weave + 12 k ud Axial Renufercement

減衰添加剤：2％拘束された層粘弾性粒子

重要なパフォーマンスメトリック

ケーススタディ：半導体アライメントTSMCの2nmファブのEUVマスクステージに設置：

{{{0}}}から22nmから0.07nmからオーバーレイエラーの削減

セラミックガイドを使用して、98.7％のウェーハ収量と93.4％を有効にしました

熱補償の減少による22％のサイクル時間の改善

クリーンルームの互換性

アウトガス：0。003％TML（NASA ASTM E595準拠）

粒子放出：<5 particles/ft³ (ISO Class 1 standard)

ESD保護：10⁶-10⁹ω表面抵抗率

メンテナンスプロトコル

フッ素化エチレンプロピレン（FEP）による年間再調整

レーザー干渉計のキャリブレーション5、000時間ごとに

10-年寸法安定性保証

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